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電子行業用水

電子行業用水.jpg

一、行業簡介
        半導體、集成電路芯(xīn)片及封裝、液晶顯示、高精(jīng)度線路板、光電器件、各(gè)種電子器件、微電子(zǐ)工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度(dù)越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目前我國電(diàn)子工業部把電子級水質(zhì)技術分為五個行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以(yǐ)區分(fèn)不同水質。
二、應用範圍
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日(rì)化、建材(cái)、造漆、蓄電池、化驗、生物、製藥、石油(yóu)、化工(gōng)、鋼(gāng)鐵、玻璃等領域。
2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等用純水。
3、單晶矽、半導體晶片切割製造、半導體芯(xīn)片、半導體封裝 、引線櫃架、集成電(diàn)路、液(yè)晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信(xìn)、電腦元件、電容器潔淨產品及各(gè)種(zhǒng)元器件等生產工藝用純水。
三、工藝簡介
1、係(xì)統模塊化設計(jì),共分四部分:預處理係統、反滲透係(xì)統、EDI係統(tǒng)、終端供(gòng)水係統。
2、預處理係統主要用來去除原水中(zhōng)的(de)懸浮物、濁度、色(sè)度、膠體以及(jí)部分有(yǒu)機物,保證產水符合反滲透係統的進水水質要求(qiú)。
3、反滲透係(xì)統主要用來去除原(yuán)水中溶解性鹽類物質、細菌、熱源等,保(bǎo)證產水符合EDI係統進水水質要求(qiú)。
4、EDI係統主要用來對反(fǎn)滲透產水進行進一步脫除溶解性的小分子鹽(yán)類物質(zhì),產水(shuǐ)達到電阻率達到15MΩ.cm以上。
5、終端供水係(xì)統主要(yào)是用來將合格(gé)水輸送至用水點,輸送過程中對EDI產生進行最後的離子交換脫鹽,使得(dé)產水達到電阻率達到18MΩ.cm以上。
6、整個係統進行集中控製。

四、技術特色
1、係統模塊化設計,占地(dì)麵積(jī)小,操作維護方便,安裝方便快捷,整(zhěng)體美觀。
2、整套係統實現全自動化運行,並且手動與自動自由切換。
3、設(shè)備產水(shuǐ)水質穩定(dìng),運(yùn)行連(lián)續穩定。
4、係統工藝先進,無需化學藥品再生,無危害性廢液排放。
5、係統節水率高,係統回收(shōu)率在75%以上。
6、關鍵部位采用(yòng)在(zài)線(xiàn)儀表監測,適時數據上傳。
五、設備參數
1、係統回(huí)收率:
        超濾≥90%
        一級反滲透≥75%
        二級反滲(shèn)透≥85%
        EDI係統(tǒng)≥90%
2、設備產水符合《電子超純水國家標準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半導(dǎo)體工業純水指標。
3、單支膜脫鹽(yán)率≥99.5%(水溫25℃)。

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